洁净室气密测试通常采用专用的检测设备对洁净室进行评估。测试方法主要有以下几种：
1. 电子气密性测试：这种方法主要采用电子气密性测试设备，通过内部传感器检测洁净室的气压差来判断气密性是否达标。设备会通过在室内和室外施加不同的气压，监测气体流通情况，以便快速且准确地识别任何潜在的泄漏点。
2. 溶液法：溶液法通常用于对密封件和接缝的检测。工人会在潜在泄漏区域涂抹包含染料的气密试剂。一旦有漏气发生，染料会在泄漏点处流动或变色，从而直观地显示出问题所在。此法适用于较大面积或者明显的漏气情况，但在微小裂缝的检测中效果相对较差。
3. 红外热成像：利用红外热成像技术，可以实现无损检测。这一方法通过热成成像仪检测洁净室的表面温度变化来判断气密性。泄漏处由于气流及温度变化会形成明显的热量散失，通过热成像图可以快速定位泄漏源。
进**密性测试之前，需要做好充分的准备工作，包括收集相关的设计规范、材料清单及设备数据等。
1. 预检阶段：在气密性测试开始之前，需进行一次有效的预检查，确保所有设备、仪器和密封件工作正常。检查洁净室的洁净度等级是否符合规定，确保没有其他因素干扰测试结果。需要关注的要点包括门窗的密封状况、通风管道、冷却系统等。
2. 测试阶段：根据选择的测试方法，操作人员对洁净室内部的压力、温度等进行记录，然后进**密测试过程。电子气密性测试需要将设备放置在室内，记录气压变化，所得数据将为后续分析提供依据。而采用溶液法和红外热成像时，则需要人工逐步检查和记录泄漏点。
3. 结果分析：测试结束后，检测人员需对数据进行分析和比较，判定气密性是否合格。如果存在压差变化或泄漏点，需记录并标识，随后进行必要的修复工作。数据的记录与对比也相当重要，以便为未来的检修和维护提供参考依据。